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產品中心產品介紹
七星華創(chuàng)質量流量控制器流量計
特點
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流,使用壽命長D07-7是熱式質量流量計,質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質量流量,質量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質量流量 。D07-7產品是七星流量計基礎款產品,能滿足客戶流量測控基本需求。
七星華創(chuàng)質量流量控制器流量計
技術參數(shù)
| 編號 | 
 項目 | 
 D07-7K 型 | 
 D07-7B 型 | 
 D07-7C 型 | 
 D07-7CM 型 | 
| 
 1 | 
 流量規(guī)格 | 
 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 
 | 
 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | 
 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | 
 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | 
| 2 | 準確度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | 
| 3 | 線性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | 
| 
 4 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | 
| 5 | 響應時間 | 
 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec 
 | 
 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 
 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 
 
 10 sec | 
| 6 | 氣壓降 | 
 ˉ | 
 ˉ | 
 ˉ | <0.01 MPa | 
| 
 7 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa | 
| 
 8 | 溫度系數(shù) | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ | 
| 
 9 | 最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 
| 10 | 耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 
| 
 11 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 
| 12 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 
| 13 | 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA 
 | 
| 
 14 | 外形尺寸 | 
 見圖4 | 
 見圖4 | 
 見圖4 | 
 見圖5 | 
| 15 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg | 
D07-7是熱式質量流量計,質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質量流量,質量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質量流量 。D07-7產品是七星流量計基礎款產品,能滿足客戶流量測控基本需求。D07-7是熱式質量流量計,質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質量流量,質量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質量流量 。D07-7產品是七星流量計基礎款產品,能滿足客戶流量測控基本需求。
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